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发明名称 IRRADIATION OF SEMICONDUCTOR WAFER BY ULTRAVIOLET RAY
摘要
申请公布号 JPS6114724(A) 申请公布日期 1986.01.22
申请号 JP19840134075 申请日期 1984.06.30
申请人 USHIO DENKI KK 发明人 SHINDOU SACHIKO
分类号 H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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