VAPOR PHASE EPITAXIE METHOD AND REACTOR,申请号JP19850137635-传众专利搜索

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发明名称	VAPOR PHASE EPITAXIE METHOD AND REACTOR
摘要
申请公布号	JPS6114719(A)	申请公布日期	1986.01.22
申请号	JP19850137635	申请日期	1985.06.24
申请人	ANDOREI SUTEFUAN MIRUSEA	发明人	ANDOREI SUTEFUAN MIRUSEA
分类号	H01L21/205;C30B25/12;C30B25/14	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
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