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发明名称 SEMICONDUCTORS WAFERS &C
摘要
申请公布号 GB8530304(D0) 申请公布日期 1986.01.22
申请号 GB19850030304 申请日期 1985.12.09
申请人 ADVANCED SEMICONDUCTOR MATERIALS AMERICA INC 发明人
分类号 H01L21/205;B05C13/02;H01L21/285;H01L21/31;H01L21/673;(IPC1-7):H05H1/46 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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