| 发明名称 |
LIQ. MATERIAL GASIFYING METHOD AND FEEDER AND SEMICONDUCTOR PRODUCING APPARATUS CONSTITUTED, USING IT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH09181061(A) |
申请公布日期 |
1997.07.11 |
| 申请号 |
JP19950336301 |
申请日期 |
1995.12.25 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
NIINA TOMOJI;OTSUKA MASASHI |
| 分类号 |
B05D3/00;C23C16/44;C23C16/448;C23C16/52;H01L21/205;H01L21/223;H01L21/285;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 |
主分类号 |
B05D3/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
