| 发明名称 |
WERKWIJZE VOOR HET PLASMA-ETSEN VAN ALUMINIUM EN ALUMINIUMLEGERINGEN. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL178982(B) |
申请公布日期 |
1986.01.16 |
| 申请号 |
NL19790004410 |
申请日期 |
1979.06.05 |
| 申请人 |
HITACHI LTD. TE TOKIO, JAPAN. |
发明人 |
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| 分类号 |
C09K13/10;C23F4/00;H01L21/02;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):C23F1/12 |
主分类号 |
C09K13/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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