发明名称 Turbomolekularpumpenstufe
摘要
申请公布号 DE29714418(U1) 申请公布日期 1997.12.04
申请号 DE19972014418U 申请日期 1997.08.12
申请人 LEYBOLD VAKUUM GMBH, 50968 KOELN, DE 发明人
分类号 F04D19/04;F04D29/16;(IPC1-7):F04D19/04 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
主权项
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