发明名称
摘要
申请公布号 DE3006919(C2) 申请公布日期 1986.01.16
申请号 DE19803006919 申请日期 1980.02.25
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 NAKANO, TOSHIO;KANEKO, TADAO, TOKIO/TOKYO, SAITAMA, JP;HASHIMOTO, MICHIAKI, YONO, SAITAMA, JP;HATANO, YOSHIO, URAWA, SAITAMA, JP;MATSUMARU, HARUO;SASANO, AKIRA, TOKIO/TOKYO, JP;MARUYAMA, EIICHI, KODAIRA, TOKIO/TOKYO, JP
分类号 G02B5/20;H01L27/14;H01L27/146;(IPC1-7):H01L27/14;H01L31/18;H01L31/02;H04N9/04;G02B5/28 主分类号 G02B5/20
代理机构 代理人
主权项
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