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发明名称 ELECTRON BEAM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10162760(A) 申请公布日期 1998.06.19
申请号 JP19960319706 申请日期 1996.11.29
申请人 SHIMADZU CORP 发明人 MITAMURA SHIGEHIRO;NOJI TAKETOSHI
分类号 H01J37/04;H01J37/10;H01J37/252;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/04 主分类号 H01J37/04
代理机构 代理人
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