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发明名称
DECOMPOSER OF SEMICONDUCTOR THIN FILM
摘要
申请公布号
JPS617634(A)
申请公布日期
1986.01.14
申请号
JP19840128507
申请日期
1984.06.22
申请人
TOSHIBA KK;TOUSHIBA MAIKON ENGINEERING KK
发明人
SHIMAZAKI AYAKO;YAMADA KAORU
分类号
H01L21/306
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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