发明名称 Pattern forming material of a siloxane polymer
摘要
申请公布号 US4564579(A) 申请公布日期 1986.01.14
申请号 US19840680739 申请日期 1984.12.12
申请人 NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE PUBLIC CORPORATION 发明人 MORITA, MASAO;TANAKA, AKINOBU;IMAMURA, SABURO;TAMAMURA, TOSHIAKI;KOGURE, OSAMU
分类号 C08G77/20;C08G77/24;G03F7/075;G03F7/09;(IPC1-7):G03C5/00 主分类号 C08G77/20
代理机构 代理人
主权项
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