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发明名称 Mehr-Gebiet Plasma-Behandlungsvorrichtung
摘要
申请公布号 DE69320557(D1) 申请公布日期 1998.10.01
申请号 DE1993620557 申请日期 1993.06.15
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INC., DALLAS, TEX., US 发明人 MOSLEHI, MEHRDAD M., DALLAS, TX 75248, US
分类号 C23C14/56;C23C16/44;C23C16/509;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H05H1/46;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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