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发明名称 RESIST COATER
摘要
申请公布号 JPS614229(A) 申请公布日期 1986.01.10
申请号 JP19840124942 申请日期 1984.06.18
申请人 TOSHIBA KK 发明人 GOTOU YUUJI
分类号 B05C11/08;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
主权项
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