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发明名称
摘要
申请公布号 JPS612613(U) 申请公布日期 1986.01.09
申请号 JP19840084301U 申请日期 1984.06.08
申请人 发明人
分类号 H01L21/68;G01B9/04;G02B21/26;H01L21/66;(IPC1-7):G02B21/26 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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