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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES RESISTMUSTERS
摘要
申请公布号 DE3424187(A1) 申请公布日期 1986.01.09
申请号 DE19843424187 申请日期 1984.06.30
申请人 BASF AG 发明人 PETERMANN,JUERGEN,PROF.DR.;FUCHS,HARALD,DR.
分类号 G03F7/20;G03C5/08;G03F7/038;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/00;H01L21/312;H05K3/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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