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发明名称 OPTICAL EXPOSURE EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPS613407(A) 申请公布日期 1986.01.09
申请号 JP19840123725 申请日期 1984.06.18
申请人 HITACHI SEISAKUSHO KK 发明人 SUGIYAMA HIDEJI
分类号 H01L21/30;G03F7/20;H01L21/027 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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