| 发明名称 |
VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM BEARBEITEN VON SUBSTRATFLAECHEN IN EINEM CHEMISCHEN BEARBEITUNGSSYSTEM ZUR HERSTELLUNG ELEKTRONISCHER VORRICHTUNGEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3523532(A1) |
申请公布日期 |
1986.01.09 |
| 申请号 |
DE19853523532 |
申请日期 |
1985.07.01 |
| 申请人 |
FSI CORP. |
发明人 |
D. SCHUMACHER,DAVID;A. PETERSON,CHARLIE;C. BURKMAN,DON |
| 分类号 |
B08B3/02;C23G3/00;C30B33/00;C30B33/10;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):B05B13/00;B05B15/02;B05D1/02;B05D5/00;H01L21/208 |
主分类号 |
B08B3/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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