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发明名称 PROCESS AND DEVICE FOR DRYING OF SUBSTRATES
摘要
申请公布号 EP0956584(A1) 申请公布日期 1999.11.17
申请号 EP19970916392 申请日期 1997.03.26
申请人 STEAG MICROTECH GMBH 发明人 WEBER, MARTIN
分类号 F26B3/28;F26B3/32;F26B23/00;H01L21/00;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 F26B3/28
代理机构 代理人
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