发明名称 VERFAHREN ZUM ABSETZEN KLEINER KUNSTHARZMENGEN
摘要
申请公布号 DD231894(A1) 申请公布日期 1986.01.08
申请号 DD19840266252 申请日期 1984.08.14
申请人 TECHNISCHE UNIVERSITAET,DRESDEN,,,DD 发明人 HOENISCH,GERHARD,DD;AULHORN,UTA,DD;AUGST,GOTTHARD,DD;WILLE,ROLF,DD
分类号 (IPC1-7):H01L21/92 主分类号 (IPC1-7):H01L21/92
代理机构 代理人
主权项
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