发明名称 METHOD OF FORMING RESIST PATTERN
摘要
申请公布号 JPS612383(A) 申请公布日期 1986.01.08
申请号 JP19840122845 申请日期 1984.06.14
申请人 HITACHI KASEI KOGYO KK 发明人 IWASAKI YORIO;FUKUTOMI NAOKI;KIDA AKINARI;KOJIMA FUJIO;KAWASHIMA YUTAKA
分类号 H05K3/06;H05K3/18 主分类号 H05K3/06
代理机构 代理人
主权项
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