MICROWAVE PLASMA ETCHING,申请号EP19810304089-传众专利搜索

发明名称	MICROWAVE PLASMA ETCHING
摘要
申请公布号	EP0047663(B1)	申请公布日期	1986.01.08
申请号	EP19810304089	申请日期	1981.09.08
申请人	HITACHI, LTD.	发明人	NISHIMATSU, SHIGERU;SUZUKI, KEIZO;NINOMIYA, KEN;KANOMATA, ICHIRO;OKUDAIRA, SADAYUKI;SAIDA, HIROJI
分类号	C23F4/00;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213;(IPC1-7):H01J37/32	主分类号	C23F4/00
代理机构		代理人
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