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发明名称 LOADING AND UNLOADING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS612337(A) 申请公布日期 1986.01.08
申请号 JP19840121763 申请日期 1984.06.15
申请人 HITACHI SEISAKUSHO KK 发明人 SASAKI KAZUHIKO
分类号 H01L21/677;H01L21/66 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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