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发明名称 METHOD FOR DETERMINING PHOTOMASK ALIGNMENT
摘要
申请公布号 EP0080619(A3) 申请公布日期 1986.01.08
申请号 EP19820110347 申请日期 1982.11.10
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 BERGENDAHL, ALBERT STEPHEN
分类号 H01L21/68;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/66;H01L23/544;(IPC1-7):H01L23/54;G03B41/00 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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