发明名称 SECONDARY ELECTRON DETECTOR
摘要
申请公布号 GB8529033(D0) 申请公布日期 1986.01.02
申请号 GB19850029033 申请日期 1985.04.05
申请人 HITACHI LTD 发明人
分类号 G01N23/225;H01J37/244;(IPC1-7):H01J37/244 主分类号 G01N23/225
代理机构 代理人
主权项
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