摘要 |
<p>Es wird ein thermischer Durchflussmesser (1) vorgeschlagen, bei dem ein Fluid durch einen Messkanal (3) strömt, in dessen Strömungsbereich zwei temperaturabhängige Messwiderstände in Strömungsrichtung hintereinander angeordnet sind, die Bestandteil einer Brückenschaltung sind. Der Messkanal (3) ist als Vertiefung in einem Block (2) ausgebildet, in die ein Einlass- und Auslasskanal (4, 5) mündet. Der Messkanal (3) weist relativ zu seiner Tiefe eine grosse Ausdehnung in Länge und Breite auf. Die Vertiefung ist mit einem die Messwiderstände als Flächenmuster tragenden Substrat (16) abgedeckt, wobei die Messwiderstände in etwa die gesamte Vertiefung (3) überdecken.</p> |