| 发明名称 |
DETECTION OF END POINT IN THIN FILM ETCHING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2121167(B) |
申请公布日期 |
1986.01.02 |
| 申请号 |
GB19830013704 |
申请日期 |
1983.05.18 |
| 申请人 |
* WESTERN ELECTRIC COMPANY INCORPORATED |
发明人 |
CHARLES RAYMOND * SZMANDA |
| 分类号 |
G01B11/06;G03F7/30;(IPC1-7):G01N21/45 |
主分类号 |
G01B11/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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