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发明名称 METHOD OF MAKING A CAPACITANCE HUMIDITY SENSOR WITH A THIN DIELECTRIC
摘要
申请公布号 EP0058102(B1) 申请公布日期 1986.01.02
申请号 EP19820400072 申请日期 1982.01.15
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ETABLISSEMENT DE CARACTERE SCIENTIFIQUE TECHNIQUE ET INDUSTRIEL 发明人 LORIN, ANDRE;ROSILIO, ANDRE;TANGUY, JEAN
分类号 G01N27/22;G01N27/12;(IPC1-7):G01N27/22 主分类号 G01N27/22
代理机构 代理人
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