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发明名称 VAPOUR DEPOSITION APPARATUS
摘要
申请公布号 GB8529157(D0) 申请公布日期 1986.01.02
申请号 GB19850029157 申请日期 1985.11.27
申请人 SONY CORPORATION 发明人
分类号 C23C16/458;C30B25/02;C30B25/12;H01L21/20;H01L21/205;(IPC1-7):C23C14/50 主分类号 C23C16/458
代理机构 代理人
主权项
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