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发明名称 MAGNETRON SPUTTERING OF FERROMAGNATIC MATERIAL
摘要
申请公布号 MY8500489(A) 申请公布日期 1985.12.31
申请号 MY19850000489 申请日期 1985.12.30
申请人 MOTOROLA INC 发明人 RICHARD WILLIAM WILSON
分类号 C23C14/14;C23C14/34;C23C14/35;C23C14/36;H01F41/18;H01J37/34;H01L21/285;(IPC1-7):C23C15/00 主分类号 C23C14/14
代理机构 代理人
主权项
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