| 发明名称 |
OPTICAL MEASUREMENT APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0130337(A3) |
申请公布日期 |
1985.12.27 |
| 申请号 |
EP19840105748 |
申请日期 |
1984.05.21 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
JOHNSON, MARK |
| 分类号 |
G01P3/36;G01B9/02;G01D5/26;G01J9/02;G01N21/45;G02B5/12;(IPC1-7):G01J9/02 |
主分类号 |
G01P3/36 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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