发明名称
摘要
申请公布号 JP3250543(B2) 申请公布日期 2002.01.28
申请号 JP19990108595 申请日期 1999.04.15
申请人 发明人
分类号 C23C16/08;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/285 主分类号 C23C16/08
代理机构 代理人
主权项
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