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发明名称 VERFAHREN ZUR PROJEKTION VON MIKROSTRUKTUREN
摘要
申请公布号 DD231452(A1) 申请公布日期 1985.12.24
申请号 DD19840269358 申请日期 1984.11.12
申请人 VEB ZFT MIKROELEKTRONIK,,,,DD 发明人 BEYER,CHRISTIAN,DD;WALTHER,KLAUS,DD;ROLL,ROKHARD,DD;ROLL,ECKHARD,*
分类号 G03F7/26;(IPC1-7):G03F7/26 主分类号 G03F7/26
代理机构 代理人
主权项
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