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发明名称
摘要
申请公布号	JPS60193964(U)	申请公布日期	1985.12.24
申请号	JP19840079577U	申请日期	1984.05.31
申请人		发明人
分类号	C23C14/36;C23C14/34;C23C14/35;C23C16/50;H01L21/203;H01L21/285;(IPC1-7):C23C14/34	主分类号	C23C14/36
代理机构		代理人
主权项
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