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发明名称 PHOTOLITHOGRAPHY
摘要
申请公布号 GB8528698(D0) 申请公布日期 1985.12.24
申请号 GB19850028698 申请日期 1985.11.21
申请人 PLASMON DATA SYSTEMS NV 发明人
分类号 G03F7/20;G11B7/00;G11B7/26;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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