PROCEDE D'AUTOPOSITIONNEMENT D'UNE LIGNE D'INTERCONNEXION SUR UN TROU DE CONTACT ELECTRIQUE D'UN CIRCUIT INTEGRE

摘要

CE PROCEDE CONSISTE A DEPOSER SUR L'ENSEMBLE DU CIRCUIT UNE PREMIERE COUCHE CONDUCTRICE 20, A DEPOSER SUR CETTE COUCHE UN MATERIAU DE REMPLISSAGE 22 SERVANT A COMBLER LE TROU DE CONTACT 17, LA SURFACE 23 DE CE MATERIAU ETANT SENSIBLEMENT PLANE, A REALISER UNE GRAVURE ANISOTROPE DE CE MATERIAU DE REMPLISSAGE DE FACON A METTRE A NU LES PARTIES 20A DE LA PREMIERE COUCHE CONDUCTRICE SITUEES EN DEHORS DU TROU DE CONTACT ET A NE GARDER DE CE MATERIAU DE REMPLISSAGE QUE LA PARTIE 22A REMPLISSANT LE TROU DE CONTACT, A DEPOSER SUR LA STRUCTURE OBTENUE UNE DEUXIEME COUCHE CONDUCTRICE 26 DANS LAQUELLE SERA REALISEE LA LIGNE D'INTERCONNEXION 26A, A REALISER SUR LA DEUXIEME COUCHE CONDUCTRICE UN MASQUE DE RESINE 28 SERVANT A DEFINIR LES DIMENSIONS DE LA LIGNE, A ELIMINER LES PARTIES DE LA DEUXIEME ET DE LA PREMIERE COUCHES CONDUCTRICES DEPOURVUES DE MASQUE ET A ELIMINER LE MASQUE.