发明名称 TECHNIQUE FOR MEASURING VERY SMALL SPACINGS
摘要 L'espace compris entre deux surfaces, tel que l'espace compris entre un disque en verre (14) et un curseur ou tête magnétique (12), est mesuré en dirigeant de la lumière d'une source (18) de lumière à large spectre sur les deux surfaces, et en combinant la lumière reflétée. La lumière à différentes fréquences est combinée de manière constructive et destructive. Les signaux combinés sont analysés à un grand nombre de fréquences, afin de donner un graphique de l'intensité par rapport à la longueur d'onde, et l'on identifie la ou les longueurs d'onde d'intensité maximale (et d'interférence constructive) et/ou d'intensité minimale (d'interférence destructive).
申请公布号 WO8505673(A1) 申请公布日期 1985.12.19
申请号 WO1985US01035 申请日期 1985.06.03
申请人 KOLLMORGEN TECHNOLOGIES CORPORATION 发明人 FRIDGE, DAVID, A.;MILLER, KENNETH, A.
分类号 G01B11/14;G11B5/60;G11B21/21;G11B33/10;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01B11/14
代理机构 代理人
主权项
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