发明名称 VERFAHREN ZUM BILDEN EINER IN MUSTER GEBRACHTEN LEITENDEN SCHICHT
摘要
申请公布号 DE3520083(A1) 申请公布日期 1985.12.19
申请号 DE19853520083 申请日期 1985.06.05
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN 发明人 CRAIG ELLWANGER,RUSSELL
分类号 H01L21/3213;H01L21/3105;H01L21/311;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/31;H01L21/306 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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