发明名称 |
VERFAHREN ZUM BILDEN EINER IN MUSTER GEBRACHTEN LEITENDEN SCHICHT |
摘要 |
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申请公布号 |
DE3520083(A1) |
申请公布日期 |
1985.12.19 |
申请号 |
DE19853520083 |
申请日期 |
1985.06.05 |
申请人 |
N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN |
发明人 |
CRAIG ELLWANGER,RUSSELL |
分类号 |
H01L21/3213;H01L21/3105;H01L21/311;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/31;H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/3213 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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