METHOD OF MANUFACTURING STAMPER

摘要

Procédé de production d'une matrice de haute densité et avec un faible taux de rebut. Un film organique formé sur le substrat est irradié avec un faisceau de particules chargées, tel qu'un faisceau d'électrons ou d'ions, afin de former une texture scabreuse sur le film organique pour l'utiliser comme matrice. Celle-ci est ainsi formé directement, sans passer par les étapes consistant à former, d'abord, un disque mère et ensuite une matrice à partir du disque mère. Par conséquent le nombre d'étapes est réduit et le taux de rebut diminue; ce procédé est donc idéal dans la fabrication de matrices pour disques optiques de haute densité.