| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Ansteuern eines Heterodyn-Interferometers mit zwei in getrennten Lichtwegen angeordneten akustooptischen Modulatoren, einem Empfänger, welcher ein Analogsignal erzeugt, und einem nachgeschalteten A/D-Wandler, der das Analogsignal in ein Digitalsignal wandelt, bei dem der eine akustooptische Modulator mit einer Modulationsfrequenz f1 und der andere akustooptische Modulator mit einer anderen Modulationsfrequenz f2 angesteuert werden, die Differenz der Modulationsfrequenzen f1 und f2 eine Heterodynfrequenz fHet bildet und die Umwandlung des Analogsignals in das Digitalsignal im A/D Wandler mit der Abtastfrequenz fa erfolgt. Bei einem solchen Heterodyn-Interferometer wird ein festes Verhältnis der Modulationsfrequenzen eingehalten und diese können sich nicht durch Alterung und Drift gegeneinander verschieben, indem zumindest zwei der Frequenzen aus den Modulationsfrequenzen f1, f2 und der Abtastfrequenz fa aus einer Grundfrequenz fQuarz eines gemeinsamen Oszillators gebildet werden. Weiterhin kann hierdurch erreicht werden, dass die Abtastfrequenz fe in einem festen Phasenverhältnis zur Differenzfrequenz der Modulationsfrequenzen f1,f2, der Heterodynfrequenz fHet, steht. Die Messgenauigkeit wird erhöht, da die Abtastung unabhängig von Drift und Alterung bei konstanter Phase erfolgt.</p> |
