发明名称 Surface ionisation-type ion source, particularly for the realisation of an ionic probe.
摘要 <p>La source d'ions comporte une source de particules neutres, qui arrive sur un support d'ionisation réalisé à l'intérieur d'une enceinte fermée par un capuchon (51), et les parois latérales (21 à 24). Le capuchon (51) comporte un orifice (50), en regard duquel une plaque (62) définit une surface active principale d'ionisation (20). Un champ électrique est appliqué entre l'ensemble de ce dispositif et une électrode placée en aval de l'orifice (50) dans la direction (D), munie d'un orifice homologue. Dans son ensemble, le support d'ionisation définit, par la surface active (20), et par des trous tels que (66 et 68), percés de manière décalée dans la plaque (62), une chicane empêchant le passage direct des atomes neutres vers l'orifice de sortie (50), et contribuant à une excellente ionisation.</p>
申请公布号 EP0165140(A1) 申请公布日期 1985.12.18
申请号 EP19850400969 申请日期 1985.05.15
申请人 OFFICE NATIONAL D'ETUDES ET DE RECHERCHES AEROSPATIALES;UNIVERSITE DE PARIS-SUD 发明人 SLODZIAN, GEORGES;DAIGNE, BERNARD;GIRARD, FRANCOIS
分类号 H01J37/08;H01J27/24;H01J27/26;(IPC1-7):H01J27/26 主分类号 H01J37/08
代理机构 代理人
主权项
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