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发明名称
VERFAHREN ZUR BEHUEGELUNG
摘要
申请公布号
DD231169(A1)
申请公布日期
1985.12.18
申请号
DD19840267598
申请日期
1984.09.25
申请人
VEB ROBOTRON-ELEKTRONIK DRESDEN,DD
发明人
DITTMAR,GUENTER,DD;BEHLERT,RUDOLF,DD;DITTMAR,GISELA,DD;SEIDOWSKI,THOMAS,DD
分类号
H01L21/60;H01L23/50;(IPC1-7):H01L23/50;H01L21/88
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
主权项
地址
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