| 发明名称 |
INRICHTING VOOR HET AFBEELDEN VAN EEN MASKERPATROON OP EEN SUBSTRAAT. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL8401710(A) |
申请公布日期 |
1985.12.16 |
| 申请号 |
NL19840001710 |
申请日期 |
1984.05.29 |
| 申请人 |
N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN TE EINDHOVEN. |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/30;G03F7/207;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/00;H01L21/68;H01L21/32;G02B27/00;G03B41/00 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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