| 发明名称 |
CHAMBERS, SYSTEMS, AND METHODS FOR ELECTROCHEMICALLY PROCESSING MICROFEATURE WORKPIECES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1702018(A4) |
申请公布日期 |
2007.05.02 |
| 申请号 |
EP20040754411 |
申请日期 |
2004.06.04 |
| 申请人 |
SEMITOOL, INC. |
发明人 |
HANSON, KYLE M.;KLOCKE, JOHN |
| 分类号 |
C25D5/00;C25D3/02;C25D3/38;C25D7/12;C25D17/00;C25D17/02;C25F7/00 |
主分类号 |
C25D5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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