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发明名称 METHOD OF AUTOIONMICROSCOPIC MEASUREMENT OF PATHS OF IONS IMPLANTED IN METALS
摘要
申请公布号 SU1160880(A1) 申请公布日期 1985.12.15
申请号 SU19843685991 申请日期 1984.01.03
申请人 SUVOROV A.L.,SU;BOBKOV A.F.,SU;LAZAREV N.E.,SU 发明人 SUVOROV A.L.,SU;BOBKOV A.F.,SU;LAZAREV N.E.,SU
分类号 H01J37/285;(IPC1-7):H01J37/285 主分类号 H01J37/285
代理机构 代理人
主权项
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