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发明名称
摘要
申请公布号
JPS6056800(B2)
申请公布日期
1985.12.11
申请号
JP19820139459
申请日期
1982.08.11
申请人
SHINKO ELEC IND
发明人
HORI KUNYUKI;WAKABAYASHI SHINICHI
分类号
C25F5/00;H01L23/50
主分类号
C25F5/00
代理机构
代理人
主权项
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