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发明名称
摘要
申请公布号 JPS6056798(B2) 申请公布日期 1985.12.11
申请号 JP19820210468 申请日期 1982.11.30
申请人 TDK ELECTRONICS CO LTD 发明人 IMAI JUJI
分类号 C25F3/12;H01L21/306;H01L21/3063 主分类号 C25F3/12
代理机构 代理人
主权项
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