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发明名称 TAPER DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPS60247926(A) 申请公布日期 1985.12.07
申请号 JP19850070122 申请日期 1985.04.04
申请人 GENERAL ELECTRIC CO 发明人 BAANAADO GOROUITSUTSU;RICHIYAADO JIYOSEFU SEIA
分类号 H01L21/302;G03F7/09;H01L21/3065;H01L21/311 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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