| 发明名称 |
BILEVEL ULTRAVIOLET RESIST SYSTEM FOR PATTERNING SUBSTRATES OF HIGH REFLECTIVITY. |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0134789(A4) |
申请公布日期 |
1985.12.05 |
| 申请号 |
EP19840900368 |
申请日期 |
1983.12.19 |
| 申请人 |
WESTERN ELECTRIC COMPANY, INCORPORATED |
发明人 |
ONG, EDITH, TING, TING |
| 分类号 |
G03C1/00;G03F7/00;G03F7/095;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/26 |
主分类号 |
G03C1/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
