| 发明名称 | 具有气体喷射组件的溅射装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种溅射装置，包括：腔室；用于将基板装载到腔室中或者从腔室中卸载下来的基板传送单元，该基板传送单元包括在基板和基板传送单元的上表面之间形成气垫的气体喷射组件。 | ||
| 申请公布号 | CN100465331C | 申请公布日期 | 2009.03.04 |
| 申请号 | CN200510079950.9 | 申请日期 | 2005.06.27 |
| 申请人 | 乐金显示有限公司 | 发明人 | 金成垠 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01);C23C14/50(2006.01) | 主分类号 | C23C14/34(2006.01) |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人 | 徐金国;梁挥 |
| 主权项 | 1.一种溅射装置，包括：腔室，以及基板传送单元，用以将基板加载到腔室中或从该腔室中卸载下来，该基板传送单元包括气体喷射组件，该气体喷射组件包括至少一个喷射嘴组，并在基板和基板传送单元的上表面之间形成气垫，其中所述至少一个喷射嘴组包括分别具有一个喷射孔和多个入口的气体喷射嘴，与气体喷射嘴隔开一定间隔的一个气体流量控制器，以及与气体流量控制器相连的至少一个距离检测传感器，以及其中所述至少一个喷射嘴组通过利用相应的气体流量控制器和相应的距离检测传感器来单个控制气体喷射组件内部的气体流量。 | ||
| 地址 | 韩国首尔 | ||