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<p>Ein Schichtträger, wie beispielsweise eine Leiterplatte, eine Multilayerschicht, eine Metallplatte oder eine Trägerschicht mit beidseitig aufgebrachten Metallschichten wird in horizontaler Lage in einer Heizstation beidseitig flächendeckend beheizt und auf einen vertikal auf Saugplatten von Vakuumtischen aufgespannten Fotoresistfilm geführt, der eine zwischen den Vakuumtischen angeordnete Laminierstation mitüberspannt. Der Fotoresistfilm wird von einer einzigen Vorratsrolle mittels einer Greiferleiste abgezogen und über die Vakuumtische und die Laminierstation geführt. Eine Schneideinrichtung schneidet den Fotoresistfilm quer zu seiner Längsrichtung durch. Der Schichtträger berührt den Fotoresistfilm auf der Höhe der Laminierstation, so daß der weitertransportierte Schichtträger in den Spalt zwischen den rotierenden Laminierwalzen der Laminiervorrichtung eingeschoben, von diesen erfaßt und zusammen mit dem Fotoresistfilm, der sich auf die Oberund Unterseite des Schichtträgers anlegt, durch die Laminierstation hindur;chtransportiert wird.</p> |
