发明名称 |
A MULTIPLE HOLDING DEVICE FOR SUBSTRATES |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2159541(A) |
申请公布日期 |
1985.12.04 |
申请号 |
GB19850012469 |
申请日期 |
1985.05.16 |
申请人 |
* BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
BERNHARD * BRACHER;KARL * BAUMANN;HERMANN * STAUB |
分类号 |
G02B1/11;C23C14/50;G02B1/10;G02C13/00;(IPC1-7):C23C14/50 |
主分类号 |
G02B1/11 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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