发明名称 A MULTIPLE HOLDING DEVICE FOR SUBSTRATES
摘要
申请公布号 GB2159541(A) 申请公布日期 1985.12.04
申请号 GB19850012469 申请日期 1985.05.16
申请人 * BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 BERNHARD * BRACHER;KARL * BAUMANN;HERMANN * STAUB
分类号 G02B1/11;C23C14/50;G02B1/10;G02C13/00;(IPC1-7):C23C14/50 主分类号 G02B1/11
代理机构 代理人
主权项
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